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光电业VOCs污染处理技术方案


光电业的蚀刻工序(湿式化学蚀刻)是利用液体化学物质与基质表面的特定材料反应溶出,蚀刻工序产生有机及无机酸共排现 […]


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    • 产品介绍

    光电业的蚀刻工序(湿式化学蚀刻)是利用液体化学物质与基质表面的特定材料反应溶出,蚀刻工序产生有机及无机酸共排现象,因此对于光电厂除了常有酸气臭味排放及处理效率,还须同时符合有机物及无机酸排放标准。目前行业内多数采用湿式洗涤搭配酸碱中和设备,对于水溶性佳且解离性高的酸性气体有不错的净化处理效果,但是因为湿式洗涤技术对于低浓度(<3ppmv)的酸性气体处理效果并不佳,尤其部分酸气的嗅味阈值很低(10ppb),使用传统的处理设备,无法达到相关标准的要求,也因此经常发生居民投诉的问题。本案澜山环境客户目前采用湿式洗涤设备处理酸性气体,排气风量约600NCMM,无法**解决因酸气所衍生的臭味问题。

    光电业VOCs污染处理技术方案

    本方案主要为解决湿式洗涤设备排气所产生的臭味问题,因此选择处理技术必须要符合能处理低浓度有机及无机酸气,以及耐高湿度的环境技术,因此若于后端加装一般恶臭处理常用的活性碳吸附设备,将无法达到此废气条件下的性能及寿命要求,因此建议客户采用常温恶臭处理触媒滤材,藉由对于特定吸附材的改质,提升对于酸性气体的吸附能力,也同时具备耐高湿度的操作环境,再搭配线上再生与改质技术,可大幅延长触媒滤材寿命达2年以上,如此即可解决客户所面临的问题。

    控制成效

    这种常温恶臭处理触媒滤材在某7.5代光电厂进行实厂处理酸排气之效率及寿命测试,处率效率>99%以上(处理后浓度低于嗅味阈值),且经由现场气味比对,经由此常温恶臭处理滤材处理后,几乎没有任何味道,为一可解决低浓度酸气臭味问题的处理技术,本技术目前已可将使用过的滤材进行在线再生,经澜山工程师反复测试结果,已连续再生超过10次以上,性能仍然维持高于95%。经效率分析,本设备处理即时效率>99%,出口浓度低于臭味阈值(<10ppb),滤材寿命大于1个月(若搭配在线再生则大于30个月)