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沸石转轮转速的改变对吸附效率的影响

日期:2018-01-05  人气:1,805 views

图3.4为沸石转轮在不同转速下,吸附区出口侧表面各转度位置所量测的去除效率。由图3.4可知随着转速的增加,沸石转轮吸附效率有下降的趋势,分析其因是过快的转速使得转轮在脱附区无法有充裕时间进行脱附程序,所以当转轮操作转速在每小时6.1转时,仍有部分的沸石吸附位置仍有很多的VOCS未**脱附出,占据吸附位置、使得后续欲处理的VOCS无法获得妥善吸附,造成刚进入吸附区处理后的去除效率即低于80%以下;而过慢的转速,则可能使转轮在吸附区的停留时间延长、让转轮内饱和吸附区增加,造成效率略为下降。所以为使转轮达到理想的去除效果,必需根据进流废气的状况作**的调整,而本案于进流VOCS浓度200ppm、进流温度25℃、脱附温度220℃、进流湿度控制11g/kg及浓缩倍率为13时,所得的峰值处理效率所对应的转速为每小时3.3转。

图3.5(a)及(b)为不同转速下,半导体行业主要VOCS的高、低进流浓度在转轮上吸附去除效率情形。图3.5(a)主要操作条件为再生温度180℃、浓缩倍率14倍,当进流VOCS浓度为200ppmv时,系统峰值转速为每小时4.5转;而如图3.5(b)所示当进流浓度降为80ppm,则系统峰值转速随之降为每小时4.0转。

分析较高进流VOCS浓度,其所得峰值效率的对应转轮转速较快的因系为气流中所含的VOCS量较多,如果转速过慢将使吸附处理区提前趋近饱和、造成处理效率下降。此现象可由图3.5(a)中所得知,当转速操作在每小时2至2.5转,系统处理效率即降至90%以下,所以进流浓度较高时,需将转速提高以使转轮提前进入脱附区进行脱附处理;但转速过快会让脱附区处理未妥、随即进入吸附区处理,转轮上的沸石吸附位置仍有残存VOCS,如此将使得转轮上的竞争性吸附更趋于显著。

由图3.5(b)可发现,进流浓度在80ppmv时,则只要介于每小时2至5.5转,其VOCS总去除效率均可达到90%以上;而相对比较图3.5(a)进流浓度为200ppm时,转速仅于每小时2.8至4.5转区间,才能达到90%以上。所以由上述结果可得知,系统在实场操作时应需定期检测进流VOCS浓度值,并适时调整转轮的转速才能使处理效率保持稳定。


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