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沸石转轮+直燃式焚烧炉半导体厂VOC废气处理设备


为避免半导体厂所排放的VOC废气直接排放到大气,本公司利用特殊的吸附浓缩-直燃式焚烧炉的方式将VOC废气经过一 […]


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    • 产品介绍

    为避免半导体厂所排放的VOC废气直接排放到大气,本公司利用特殊的吸附浓缩-直燃式焚烧炉的方式将VOC废气经过一特殊蜂巢状结构的沸石吸附转轮予以浓缩后,而后将浓缩后的高浓度VOC废气导入焚烧炉燃烧后排放,以使排放气体符合相关规定。本系统处理过程中具有回收焚烧炉燃烧排放的废热的功能,一方面做为沸石转轮再生的热源;另一方面可预热进入焚烧炉的VOC气体,以节省焚烧炉所需的燃料,达成降低设备与操作成本及能源回收再利用的经济效益。

    1.适用于处理挥发性有机废气与含恶臭物质的废气。
    2.VOC去除效率可达95%~97%。
    3.沸石转轮吸附浓缩+直燃式焚烧炉的方式可减少焚烧炉的初设成本。
    4.燃烧的废热回收可节约能源。
    5.**燃烧无需二次处理。