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沸石转轮及流体化床的应用范围?可以应用在光电行业么?

日期:2018-07-09  人气:361 views

沸石转轮或流体化床处理系统都是可供选择的VOCS废气浓缩吸附处理设备,目前已广泛的应用于各行业,例如:涂装业、油漆业、化工业及半导体封装业的溶剂回收及半导体晶圆制造业、光电业等的浓缩除臭之用。

随着光电厂的快速发展及建造,光电业排气中挥发性有机废气(Volatile Organic Compounds)的处理最近引起了广泛的关注。由于其排气量大,组成复杂及排放浓度属低至中范围(100~1000ppm)的特性,造成选择处理技术的困扰。一般在处理大风量低浓度的废气时,多会结合两种以上的处理方式,先将废气风量下降及浓度增加;再行后处理来降低操作费用。例如:将废气以沸石转轮或流体化床吸附浓缩后,再以燃烧焚烧或冷凝等的方法处理。结合沸石转轮浓缩及焚烧的方法,被开发应用于半导体制造业。应用于光电业VOC的排放处理时,由于浓度范围的不同,除非经由非常有经验的设计制造商建造的系统,才能保持90%以上的处理效率下系统稳定的运转。

 


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