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沸石转轮处理含有高沸点VOCS及粉尘的废气

日期:2018-01-10  人气:553 views

主要的操作问题

研究显示,沸石转轮吸附浓缩设备**的处理问题是废气中含有大量的高沸点物质、在脱附时热能量不足无法有效脱附而出,或废气中混排其它粒状粉尘,堵塞覆盖所导致的整体处理效率下降。

废气中含有较多量的高沸点物质,并不适合直接或单独使用沸石转轮系统处理的,例如光电业制造工序及使用的物料与半导体相近,但在含高沸点VOCS去光阻剂的使用量上远高于半导体业,所以使得其排放废气组成上的高沸点VOCS较多。高沸点VOCS虽然容易吸附在沸石转轮上,但由于系统设计的多方考虑,使得脱附高沸点VOCS温度不足,所以往往造成脱附不易,长时间后高沸点VOCS将蓄积在转轮上、占据吸附位置,影响转轮系统的整体效率,所以造成部分光电业应用沸石吸附浓缩焚烧系统效率不佳;而以往也有厂家以提高脱附温度、以增加高沸点物质脱附效率,但这项操作措施容易造成系统跳机、形成无通风的密闭状态,如果没有紧急处理程序如洒水、喷入冷却氮气等,这将造成Cassette处产生闷热状态,严重时也会使得其局部温度异常突升、让沸石转轮产生结构性的破坏。

建议处理方案

如果VOCS废气中有粉尘粒状物混入或含有较多量的高沸点物质,想要使用沸石吸附浓缩系统,我们建议:

(1)设置粉尘粒状物前置过滤设备。

(2)设置前端高沸点VOCS物质处理。

(3)定期以洁净水进行保养清洗。

(4)在操作程序中适当提高脱附温度。


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